[02.02.2006]
Установка контактной литографии Suss MicroTec MJB4 в Институте ИСВЧПЭ РАН

1 февраля в Институте ИСВЧПЭ РАН состоялась установка и успешный запуск установки контактной литографии Suss MicroTec MJB4.
Более подробно с возможностями установки MJB4 можно ознакомиться в приложенном файле.

Suss_MJB4_rus.doc (MS Word, 700Кб)